Зачем нужен сжатый воздух при производстве чипов
Почему сжатый воздух так необходим в электронной промышленности, для чего он используется и какие есть особенности для его производства
Большой опыт работы с промышленными воздушными винтовыми компрессорами включает в себя поставку оборудования как на небольшие производства, так и для крупнейших в мире технологических компаний.
Оборудование, которое используется в электронной промышленности, — это прецизионное высокотехнологичное оборудование, оно является крупным капиталовложением для любого производителя.
Такое оборудование потребляет огромное количество сжатого воздуха, например, для пневматической транспортировки компонентов или для привода прецизионных клапанов. И для такого производства крайне важно, чтобы подаваемый компрессором сжатый воздух не содержал ни малейших частичек масла.
Электронная полупроводниковая промышленность высоко автоматизирована, все автоматическое оборудование приводится в действие пневматикой и имеет давление 5-7 бар, это требует большого количества сжатого воздуха.
Подача сжатого воздуха производится, например, при электростатическом напылении. Оборудование для электростатического напыления приводится в действие сжатым воздухом, подаваемым воздушным винтовым компрессором.
Подача сжатого воздуха необходима также для работы машины для экспонирования кремниевых фотомасок, при аэрации печатных плат, когда воздух подмешивается в травитель для более полного травления, и на других этапах производства.
По каким критериям выбирается воздушный компрессор для электронной промышленности
Требования к качеству воздушных компрессоров в электронной промышленности довольно жесткие:
Это однозначно безмасляные воздушные компрессоры, которые стали базовой конфигурацией при создании новых линий в электронной промышленности.
Безмасляный компрессор означает воздушный винтовой компрессор, которые работает без использования масла в винтовом блоке, где происходит сжатие воздуха. Работа винтовой пары происходит за счет очень высокой скорости вращения, она в несколько раз больше, чем в маслозаполненном винтовом компрессоре.
В качестве разновидностей безмасляных компрессоров для электронной промышленности используются такие типы компрессоров, как:
- Воздушный компрессор без масла на водяной смазке
- Безмасляный спиральный воздушный компрессор.
Оба типа компрессора вырабатывают сжатый воздух, соответствующий «0» классу по стандартам чистоты сжатого воздуха ISO — 8573, — содержание масла по данному классу не допускается, и компрессор может применяться в «чистых» производствах.